软X射线管以及具有该软X射线管的光离子静电消除器

摘要

本实用新型涉及一种软X射线管及具有该软X射线管的光离子静电消除器，所述软X射线管由端窗输出式阳极组件、真空密封组件、阴极组件组成；所述阴极组件包括阴极托、平板芯柱、分别固定在平板芯柱上的灯丝和阴极托以及与阴极托焊接连接的阴极罩；所述阳极组件包括一面具有纳米级金属薄膜靶层的铍片和阳极焊接件，所述铍片焊接在阳极焊接件上；所述真空密封组件为所述封接在一起的玻璃壳和可伐构件；所述阳极焊接件与所述可伐构件焊接在一起，所述阴极组件位于真空密封组件内部。所述软X射线管结构简单，使用寿命长，产生软X射线的效率高，具有大的射线辐射角度及好的空间各向的对称性，用于各种行业的静电消除。

主权项

软X射线管，由端窗输出式阳极组件（1）、真空密封组件（2）、阴极组件（3）组成；其特征在于：所述阴极组件（3）包括阴极托（33）、平板芯柱（34）、分别固定在平板芯柱（34）上的灯丝（31）和阴极托（33）以及与阴极托（33）焊接连接的阴极罩（32），所述平板芯柱（34）的结构为将多根芯柱固定在平板上的结构，所述灯丝（31）焊接在芯柱的顶端，所述阴极托（33）固定在芯柱上靠近平板的位置；所述阳极组件（1）包括一面具有厚度为纳米级金属薄膜靶层的铍片（11）和阳极焊接件（12），所述铍片（11）具有纳米级的金属薄膜靶层的一面朝向所述阴极组件（3）并焊接在阳极焊接件（12）上；所述真空密封组件（2）包括结构为两端开口的筒状结构的玻璃壳（22）和与所述玻璃壳（22）的一端封接在一起的可伐构件（21）；所述阳极焊接件（12）与所述可伐构件（21）焊接在一起，所述玻璃壳（22）的另一端与平板芯柱（34）的平板封接在一起，所述阴极组件（3）的灯丝（31）位于真空密封组件（2）内部。