发明名称 阻气性塑料成型体的制造方法
摘要 本发明的目的为提供一种阻气性塑料成型体的制造方法,其仅使用高安全性的原料气,利用发热体CVD法在塑料成型体的表面上形成实质上无色且具有阻气性的阻气薄膜。本发明涉及的阻气性塑料成型体的制造方法是在塑料成型体(91)的表面上形成阻气薄膜(92)的阻气性塑料成型体(90)的制造方法,其具有成膜工序,所述成膜工序使用以通式(化学式1)所表示的有机硅烷系化合物作为主要原料气、使用氧化气体作为添加气并且使用包含钽(Ta)作为主要组成元素的发热体,利用发热体CVD法在塑料成型体的表面上形成阻气薄膜(92)。(化学式1)H3Si-Cn-X,在化学式1中,n为2或3;X为SiH3、H或NH2。
申请公布号 CN103314131A 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201180062773.7 申请日期 2011.12.28
申请人 麒麟麦酒株式会社 发明人 中谷正树;泷口绿;清水真里;佐藤爱子;田渕博康;松井荣太朗
分类号 C23C16/42(2006.01)I;B65D1/00(2006.01)I;B65D23/02(2006.01)I 主分类号 C23C16/42(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 庞东成;褚瑶杨
主权项 一种阻气性塑料成型体的制造方法,其在塑料成型体的表面上形成阻气薄膜,其特征在于,该制造方法具有成膜工序,所述成膜工序使用以通式(化学式1)所表示的有机硅烷系化合物作为主要原料气、使用氧化气体作为添加气、并且使用包含钽(Ta)作为主要组成元素的发热体,利用发热体CVD法在上述塑料成型体的表面上形成所述阻气薄膜,(化学式1)  H3Si‑Cn‑X在化学式1中,n为2或3;X为SiH3、H或NH2。
地址 日本东京都