MEMS电容式压力传感器

摘要

压力传感器通过利用电容式读出方法测量MEMS薄膜的挠曲来测量压力。存在两种方式实施本发明。一种方式涉及集成皮拉尼传感器的使用，另一种方式涉及集成谐振器的使用，所述谐振器用作参考压力传感器，用于测量内部腔体压力。

主权项

一种压力传感器，包括：第一压力传感器元件(170)，包括电容式MEMS压力传感器，所述电容式MEMS压力传感器具有可变形上电极以及由第一腔体部分隔开的固定下电极，其中所述上电极响应于待感测的压力而变形；以及第二压力传感器元件(172)，包封在第二腔体部分内，其中所述第二腔体部分具有刚性的顶盖，其中连接第一和第二腔体部分以限定组合的密封腔体，其中，所述传感器还包括用于对第一和第二压力传感器元件输出进行组合的装置，使得第二压力传感器元件输出提供第一压力传感器输出的校准。