圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘

摘要

本发明公开一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘。所述圆形托盘上排布有若干个衬底收容槽，每个衬底收容槽上可设有一个衬底，其中，在所述圆形托盘的边缘排布外圈的衬底收容槽，使得该外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径；在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽。本发明的圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法及圆形托盘，由于圆形托盘的边缘的衬底收容槽排布均匀，使得在加热过程中，圆形托盘的边缘的衬底收容槽的受热均匀性得到提高，进而使得圆形托盘整体受热均匀性得到提高。

主权项

一种圆形托盘上的排布衬底收容槽的方法，用以将若干个衬底收容槽排布于圆形托盘之上，其特征在于，所述排布衬底收容槽的方法包括：在圆形托盘的边缘排布外圈的衬底收容槽；使得该外圈的衬底收容槽的中心处于圆形托盘的同心圆周上并在该同心圆周上均匀分布，而且该外圈的衬底收容槽中的两相邻衬底收容槽之间的间距小于该外圈的衬底收容槽中的任一衬底收容槽的直径；在所述外圈的衬底收容槽以内排布衬底收容槽。