一种热流实时检测装置及其热流实时检测方法

摘要

本发明公开了属于过程参数检测领域的涉及一种热流实时检测装置及其热流实时检测方法。该热流实时检测装置由热流传感器、信号处理系统、显示系统组成，在热流传感器电绝缘热阻板基底上、下两端面真空离子溅射高纯金属膜，经激光熔刻，在上、下两端面各形成一个薄膜、无感的金属热电阻，每个热电阻引出线均采用“三线制”接法；信号处理系统、将热流传感器输出的信号进行处理，得到两端面的温度差，从而求出热流密度，显示器显示该热流密度值。本发明中的热流传感器采用纯金属薄膜作为测温材料，从根本上避免了热电堆型热电偶热电特性无法保证为已知与校验，以及热电堆中热电偶热电特性非线性、热电堆测量回路输出热电势受交变电磁场影响的局限性。

主权项

一种热流实时检测装置，其特征在于，所述热流实时检测装置由薄膜式无感热电阻温度传感器，信号处理系统及显示系统组成；其中薄膜式无感热电阻温度传感器是在电绝缘热阻板基底3的上端面1和下端面4的有效区域内制成的薄膜式、无感绕法的上端面热电阻Rt2和下两端面热电阻Rt1；上端面热电阻Rt2和下两端面热电阻Rt1分别连接在信号处理系统的两个桥式电路的桥臂上，信号处理系统的单片机与显示系统连接；