近场扫描光学显微镜耦合透过效率优化系统

摘要

本发明涉及扫描探针显微技术领域，所要解决的技术问题是提供一种简单的提高近场扫描光学显微镜耦合透过效率的优化系统及其优化方法。一种近场扫描光学显微镜耦合透过效率优化系统，包括计算机、探测器、收集镜、探针、聚焦镜、空间光调制仪器和驱动器，所述计算机、探测器、空间光调制仪器和驱动器组成闭合回路。本发明通过引入空间光调制仪器，对入射光场的光场分布进行调制，使得该被调制的光场同探针耦合后，具有最高的耦合透过效率，同时不会降低显微镜系统的其他性能。

主权项

一种近场扫描光学显微镜耦合透过效率优化系统，其特征在于，包括计算机、探测器、收集镜、探针、聚焦镜、空间光调制仪器和驱动器，所述计算机、探测器、空间光调制仪器和驱动器组成闭合回路；针对个体差异较大的探针，所述空间光调制仪器是空间光调制器，所述驱动器是空间光调制器驱动器，所述空间光调制器驱动器是一个多通道电压驱动器；所述计算机根据探测器传送的光信号，通过空间光调制器驱动器反馈控制空间光调制器；针对个体差异较小的探针，所述空间光调制仪器是相位掩膜板，其采用自适应或数值模拟的方法设计出相应的结构。