气体放电源,特别是用于EUV辐射的气体放电源

摘要

本发明涉及一种气体放电源，其用于生成EUV辐射和/或软X辐射，该气体放电源包括至少两个电极体(110，120)，其中第一电极体(110)包括可旋转安装的电极盘(100)。所述源进一步包括用于电极盘的旋转驱动器(130)、用于将目标材料的液态膜施加到电极盘(100)的径向外表面上的设备(140)以及在放电区(240)内聚焦到电极盘(100)的径向外表面以蒸发目标材料的激光器。所述源的特征在于，在所述电极体之间形成中间空间(160)，该中间空间在放电区(240)外具有＜5mm的减小的宽度，该宽度小于该中间空间在放电区中的宽度。所述源使得所生成的辐射以简单的方式通过更大的立体角发射，而没有被所述电极遮蔽。

主权项

气体放电源，该气体放电源至少包括：‑两个电极体(110，120)，其中第一电极体(110)包括可旋转安装的电极盘(100)，‑用于电极盘(100)的旋转驱动器(130)，‑用于将目标材料的液态膜应用到电极盘(100)的径向外表面上的设备(140)，以及‑用于发射激光束(190)的激光器，所述激光束在放电区(240)中被聚焦到电极盘(100)的径向外表面上，以便蒸发来自液态膜的目标材料，特征在于，在电极体(110，120)之间形成中间空间(160)，与中间空间在放电区(240)中的宽度相比，中间空间在放电区(240)之外的宽度减小到＜5mm。