具有空检测能力的基于衬里的液体储存和分配系统

摘要

本发明公开了用于储存和分配化学试剂和组合物，例如用于制造微电子器件产品的高纯液体试剂和化学机械抛光剂的流体供应系统，该流体供应系统具有在分配操作期间在所容纳的液体处于或接近耗尽时检测空或接近空的情形的能力。本发明描述了采用空检测检测布置的流体递送系统，其包括压力传感器，用于监控在供料包装和液压伺服分配泵中间分配的材料，或监控在周期进度表上被补充的分配器中的分配室补充次数，以将材料从分配器流到利用所分配的材料的下游设备。

主权项

一种材料分配系统，包括期间含有衬里的材料储存与分配的包，适配用于容纳其压力分配的材料，其中通过分配管线所述包连接于利用分配材料的设备，而分配管线连接于布置用于按周期补充进度表接收所述包的工艺过程液体用于流向所述设备的分配器，和监控器，适于检测指示包接近空状态补充分配器所需的时间，并响应性地提供接近空状态的信息输出。