蝶式压力控制阀

摘要

本发明提供一种蝶式压力控制阀，其是适合于在真空范围内进行压力控制的蝶式压力控制阀，设置空间小，能够用小的操作力进行高速控制，在闭阀时能维持闭阀状态而发挥高密封性，在进行流量控制时从微小流量到大流量都能进行准确控制，能够发挥与一般的蝶阀同样的耐久性，而且能够单独发挥隔离功能而控制从大气压到低真空的软排气的排气时间。蝶式压力控制阀具有阀开闭机构。阀开闭机构在借助向空气流路的空气供给而使座环从阀体离开的状态下使该阀体无滑动地旋转，在使阀体旋转到闭阀状态时，借助对空气流路的空气供给和弹簧的作用力使座环接近或远离阀体，来控制流路内的压力。

主权项

一种蝶式压力控制阀，具有阀开闭机构，该阀开闭机构具有：能在相对于主体内的流路垂直的方向上旋转的阀体、能在上述流路的方向上往复移动而使阀座密封部接近或远离上述阀体的座环、向使上述座环从上述阀体离开的方向供给空气的空气流路、以及对上述座环向上述阀体方向施力的弹簧，该阀开闭机构是如下所述的机构：在借助向上述空气流路供给空气而使上述座环从上述阀体离开的状态下使该阀体无滑动地旋转，在使上述阀体旋转到闭阀状态时，借助向上述空气流路的空气供给和上述弹簧的作用力使上述座环接近或远离上述阀体，来控制上述主体内的流路内的压力，其中，在上述阀体的与上述阀座密封部抵接的一侧安装有O型环，在上述空气流路上并联连接有供给或停止来自泵的空气的电磁阀、和调节空气的供给量的电动气动调节器。