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Ventilanordnung (1) einer Vakuumkammer (14) aufweisend eine Ventilgruppe (4) mit mindestens einem Ventil (2) und das Ventil (2) aufweisend ein Stellglied (3) zum Einstellen eines Gasdurchlasses des Ventils (2), wobei der Gasdurchlass bei geöffneten Ventil (2) ein ventilspezifischer Ventildurchlass und bei geschlossenem Ventil (2) Null ist, wobei der Gasdurchlass einen zeitlich begrenzten Druckausgleich von einem ersten Druck zu einem zweiten Druck zulassend oder verhindernd einstellbar ist, wobei der erste Druck einer im Bereich des Vakuums und der zweite Druck größer als der erste Druck und bevorzugt Normaldruck ist, wobei der summarische Ventildurchlass einer Ventilgruppe (4) ein Gruppendurchlass ist und wobei das Stellglied (3) des Ventils (2) der Ventilgruppe (4) so eingestellt ist, dass das Ventil (2) beim zugelassenen Druckausgleich geöffnet und beim verhinderten Druckausgleich geschlossen ist, dadurch gekennzeichnet, dass die Ventilanordnung (1) neben der ersten Ventilgruppe (4) mindestens eine zusätzliche Ventilgruppe (5) aufweist und dass die Ventilanordnung (1) eine Umschalteinheit (7) zum Einstellen der Stellglieder (3) aufweist, wobei mittels der Umschalteinheit (7) eine der Ventilgruppen (4, 5) derart ausgewählt ist, dass deren Stellglied (3) gemäß dem Druckausgleich eingestellt ist.
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