具有用于检测热辐射的膜结构的装置、所述装置的制造和使用方法

摘要

本发明涉及一种用于检测热辐射的装置，其包括：至少一个膜，上面安装用于将所述热辐射转换为电信号的至少一个热检测器元件；以及至少一个电路支撑件，其用于承载所述膜且用于承载用于读出所述电信号的至少一个读出电路，所述检测器元件和所述读出电路通过穿过所述膜的电触点电连接在一起。另外，提供一种制造所述装置的方法，其具有以下方法步骤：a)提供具有所述检测器元件的所述膜和至少一个电直通连接，且提供所述电路支撑件，和b)以所述检测器元件和所述读出电路通过穿过所述膜的电触点电连接在一起的方式将所述膜和所述电路支撑件合在一起。更好以晶圆级实施制造活动：将经功能化的硅衬底堆叠在彼此上，彼此稳固地接合，且随后被分割为个别元件。更好地，所述检测器元件包括热电检测器元件。所述装置适用于运动检测器、存在检测器和热成像照相机。

主权项

一种用于检测热辐射的装置(1)，其包括至少一个膜(11)，上面布置有至少一个用于将热辐射转换为电信号的热检测器元件(111)，以及至少一个电路支撑件(12)，其用以承载所述膜且具有至少一个用以读出所述电信号的读出电路(121)，至少一个盖(13)以防护排列在面对所述盖的膜上的所述检测器元件，其中所述电路支撑件、所述膜和所述盖设成一堆叠，使得所述膜布置于所述电路支撑件与所述盖之间，其中所述堆叠(10)具有三明治夹心形式，其中所述电路支撑件和所述膜相对于彼此布置，使得在所述膜与电路支撑件之间存在至少一个由所述电路支撑件和所述膜界定的腔(15)，其中所述膜和所述盖相对于彼此布置，使得在所述膜与所述盖之间的所述盖侧上提供至少一个腔(14)，所述检测器元件和所述读出电路通过电直通连接(120)穿过所述膜而彼此电连接，并且，一永久材料接合位于所述膜的电直通连接和所述电路支撑件之间，所以所述永久材料接合提供了所述读出电路与所述检测器元件连接的电连接(123)，其中所述膜和所述盖藉由永久材料接合将彼此紧密连接。