发明名称 层叠基板的构图装置
摘要 本发明提供层叠基板的构图装置。其课题在于,能够高速且高精度地对太阳能电气基板等层叠基板进行构图加工而不会导致成本上升。作为解决手段,该构图装置具有:隔开规定间隔配置的一对支承部(1)、导杆(2)、加工头(3)、辊作业台(4)以及搬送机构(5)。导杆(2)配置于一对支承部(1)之间,并且,该导杆的两端分别支承于一对支承部(1),层叠基板能够通过其下方。加工头(3)安装于导杆(2)上,用于对薄膜层进行构图。辊作业台(4)在一对支承部(1)之间与加工头(3)相对配置,并且,旋转自如地支承于一对支承部(1),在该辊作业台的外周面载置层叠基板。搬送机构(5)搬送载置于辊作业台(4)上的层叠基板。
申请公布号 CN102254984B 申请公布日期 2013.09.18
申请号 CN201110074240.2 申请日期 2011.03.25
申请人 三星钻石工业股份有限公司 发明人 赤井敏男;广野嘉文
分类号 H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/18(2006.01)I
代理机构 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人 李辉;黄纶伟
主权项 一种层叠基板的构图装置,该构图装置用于在形成于层叠基板的薄膜层上形成槽,其中,该构图装置具有:一对支承部,它们隔开规定间隔配置;导杆,其配置于所述一对支承部之间,并且,该导杆的两端分别被所述一对支承部支承,层叠基板能够通过该导杆的下方;加工头,其安装于所述导杆上,用于对薄膜层进行构图;辊作业台,其在所述一对支承部之间与所述加工头相对配置,并且旋转自如地支承于所述一对支承部,在该辊作业台的外周面载置层叠基板;以及搬送机构,其将层叠基板搬入到所述辊作业台上,对载置于所述辊作业台上的层叠基板进行搬送,所述辊作业台升降自如地支承于所述一对支承部,并能够退避到搬送机构的下方。
地址 日本大阪府