| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR INSTALLATIE, WAARIN DE OPNAME VAN EEN TUNNEL-OPSTELLING, EN WAARBIJ IN EEN SECTIE ERVAN DE OPNAME VAN EEN EXTREEM ULTRA VIOLET LITHOGRAPHIE-SYSTEEM TEN BEHOEVE VAN MET BEHULP VAN DE EUV-STRALEN HET PLAATSVINDEN VAN EEN BELICHTINGS-PROCES VAN OPVOLGENDE GEDEELTES VAN EEN ONONDERBROKEN SUBSTRAAT. |
