LIGHT SCANNING MICROSCOPE WITH SPECTRAL DETECTION

摘要

Es wird ein Lichtrastermikroskop mit einem Beleuchtungsmodul (2) zum Anregen von Probenstrahlung in einem vorbestimmten Bereich einer Probe, das zwischen einer Beleuchtung mit m Spots, wobei m eine ganze Zahl ist, die größer oder gleich 1 ist, und einer Beleuchtung mit n Spots, wobei n eine ganze Zahl und größer als m ist, umschaltbar ist, einer Ablenkeinheit (5), die die m bzw. n Spots in dem vorbestimmten Bereich bewegt, und einem Detektormodul (7) zum konfokalen und spektral aufgelösten Detektieren der Probenstrahlung bereitgestellt, wobei das Detektormodul (7) eine Konfokalblendeneinheit (9), eine der Konfokalblendeneinheit (9) nachgeordnete Aufspaltungseinheit zum spektralen Auffächern der Probenstrahlung in Teilstrahlen, einen Detektor (11) und eine Abbildungseinheit (46), die die Teilstrahlen räumlich getrennt auf den Detektor (11) abbildet, aufweist, wobei die Konfokalblendeneinheit (9) zwischen einer Konfokalblende mit genau m Öffnungen für die Probenstrahlung bei Beleuchtung mit m Spots und einer Konfokalblende mit n Öffnungen für die Probenstrahlung bei Beleuchtung mit n Spots umschaltbar ist, und die Aufspaltungseinheit von der Konfokalblendeneinheit (9) bis zur Abbildungseinheit (46) einen ersten Strahlweg für die Probenstrahlung bei Beleuchtung mit m Spots und einen zweiten Strahlweg für die Probenstrahlung bei Beleuchtung mit n Spots aufweist und die Aufspaltungseinheit zwischen beiden Strahlwegen umschaltbar ist.