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发明名称 COATING COMPOSITIONS
摘要 Developable bottom antireflective coating compositions are provided.
申请公布号 US2013236833(A1) 申请公布日期 2013.09.12
申请号 US201313871332 申请日期 2013.04.26
申请人 HOULIHAN FRANCIS;ZHANG LIN;DIOSES ALBERTO;LI MENG;AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 HOULIHAN FRANCIS;ZHANG LIN;DIOSES ALBERTO;LI MENG
分类号 G03F7/039 主分类号 G03F7/039
代理机构 代理人
主权项
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