| 摘要 |
L'invention concerne un procédé de fabrication d'un capteur de pression comprenant les étapes suivantes : - assemblage d'un substrat support avec une membrane déformable sur laquelle des jauges de contraintes ont été déposées, la membrane déformable comprenant une zone amincie en son centre, le substrat support étant disposé au-dessus de la membrane déformable, le substrat support comprenant une surface supérieure, une surface inférieure en contact avec la membrane déformable, le substrat support comprenant en outre des évidements latéraux disposés au-dessus des jauges de contraintes et un évidement central disposé au-dessus la zone amincie de la membrane, ceci pour obtenir une structure micromécanique; et une fois l'assemblage effectué, le procédé comprenant l'étape suivante : - dépôt en une unique étape d'au moins un matériau conducteur sur la surface supérieure du support et dans les évidements latéraux du support, le matériau conducteur s'étendant dans les évidements pour être en contact avec les jauges de contraintes afin de former des contacts électriques en liaison avec les jauges de contraintes. |
