发明名称 Drahtschneideelektroerodierbeabeitungsvorrichtung und Halbleiterwaferherstellungsverfahren
摘要 Bei Drahtschneideelektroerodierbearbeitungsvorrichtungen, die gleichzeitig mehrere Schneideprozesse durchführen, indem ein Draht 3 mehrere Male zwischen Hauptführungsrollen 1a bis 1d in Eingriff genommen wird, ist eine Drahtschneideelektroerodierbearbeitungsvorrichtung vorgesehen, die Schwingungen an Schneidedrahtabschnitten CL unterdrückt, um die Schneideprozesse unter Beharrungszustandsgenauigkeit zu ermöglichen. Zusätzlich zu den Hauptführungsrollen 1a bis 1d sind schwingungsdämpfende, angetriebene Führungsrollen 7a, 7b oder schwingungsdämpfende Führungen 21a, 21b enthalten, die mehrere Schneidedrahtabschnitte CL bilden, in denen die Schwingungen dadurch unterdrückt werden, dass der Draht 3 an die vorgesehene Stelle geleitet wird und dadurch die Schneidedrahtabschnitte CL im Hinblick auf die Düsen 8a, 8b genau festgelegt sind.
申请公布号 DE112011103905(T5) 申请公布日期 2013.09.12
申请号 DE201111103905T 申请日期 2011.05.18
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION 发明人 SATO, TATSUSHI;FUKUSHIMA, KAZUHIKO;MIYAKE, HIDETAKA
分类号 B23H7/10;B23H7/02 主分类号 B23H7/10
代理机构 代理人
主权项
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