| 摘要 |
<p>Es werden eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Plasmabeschichtung von länglichen, zylindrischen Bauteilen vorgeschlagen. Die Vorrichtung weist mindestens eine Prozesskammer (1), eine erste längliche Speicherkammer (2), und eine zweite längliche Speicherkammer (3), welche mit der Prozesskammer (1) frei von Absperreinrichtungen verbunden sind, eine erste längliche Transferkammer (4), welche mit der ersten Speicherkammer (2) verbunden ist, und eine zweite Transferkammer (5), welche mit der zweiten Speicherkammer (3) verbunden ist, Absperreinrichtungen (9, 10, 11, 12) an beiden Enden der ersten und zweiten Transferkammer (4, 5), mindestens ein Pumpensystem (6, 36), eine Transporteinrichtung in der ersten und zweiten Transferkammer (4, 5) und in der ersten und zweiten Speicherkammer (2, 3), welche mindestens zwei Bauteile (13, 14) zeitgleich und parallel zueinander ausgerichtet der Prozesskammer (1) zuführt und aus der Prozesskammer (1) abführt, und mindestens einen Plasmabrenner in oder an der Prozesskammer (1) auf.</p> |
