反射式散射仪

摘要

一种反射式散射仪，适于量测样品，而此反射式散射仪包括抛物面镜、光源、第一反射镜、第二反射镜以及接收器。抛物面镜具有光轴与抛物表面，其中样品是位于抛物表面之焦点，且样品之法线方向平行光轴。光源适于产生准直光束，而第一反射镜反射准直光束至抛物表面，且抛物表面反射准直光束至样品，以产生第一绕射光束。接着，抛物表面反射第一绕射光束至第二反射镜，且第二反射镜反射第一绕射光束至接收器。