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发明名称
利用气体团簇离子束修正工作件之特征部的方法
摘要
总括而言,本文中系说明利用气体团簇离子束修正工作件之表面特征部的方法之实施例。并说明其它的实施例,以及请求其专利范围。
申请公布号
TWI408701
申请公布日期
2013.09.11
申请号
TW097133908
申请日期
2008.09.04
申请人
东京威力科创艾派恩股份有限公司 美国
发明人
卫斯理 史其尼;瑞赫德 华格那
分类号
G21K5/04
主分类号
G21K5/04
代理机构
代理人
周良谋 新竹市东大路1段118号10楼;周良吉 新竹市东大路1段118号10楼
主权项
地址
美国
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