| 摘要 |
【物品用途】;本创作的物品是电浆处理装置用内衬材，系构成可利用电浆在基板上进行氧化膜等之成膜和蚀刻之类的处理的电浆处理装置之处理容器的一部分之电浆处理装置用内衬材。;【创作特点】;从各视图观之，本物品的本体呈圆形中空碗状体，本体为贯通圆孔，该圆孔系由底部向上扩展成两不同直径大小之同心圆，使该贯通圆孔内呈现一段差；如使用状态参考图所示，该处理容器1具有确认窗8、处理室及排气室6，在处理容器1内，系设置有用来载置处理基板9的载置台7，该载置台7的周围系配设有挡板3，本物品之电浆处理装置用内衬材5系在处理容器1之内壁上，于其他电浆处理装置用内衬材2、4之下方；具有防止因处理容器1之构成材料所产生的金属污染之功能。 |
