从有机矽酸盐材料移除碳的方法

摘要

在此说明以一化学药品，例如但不限于氧化剂，处理有机矽酸盐(OSG)膜，使该OSG膜曝露于一包含紫外光的能量来源，或以一化学药品处理该OSG膜而且使该OSG膜曝露于一能量来源而移除该OSG膜内的至少一部分含碳物种的方法。