位置侦测器、位置侦测方法、曝光设备及装置制造方法

摘要

一种位置侦测器，成侦测形成于基底(W)上的标志的位置，侦测器包括：产生单元(9)、搜寻单元(13)、及校正单元(14)。产生单元(9)根据包含标志(WM)的影像以产生用于识别待侦测的标志之样板。搜寻单元(13)藉由使用产生单元(9)所产生的样板以搜寻影像、以及决定是否有待侦测的标志(WM)的图案以外与样板相符度高于参考值的假图案存在。校正单元(14)，当判定有假图案时，根据假图案的资讯以校正产生单元所产生的样板，以及产生与假图案的相符度低于参考值的经过校正的样板。