具椭圆门闩结构之前开式晶圆盒

摘要

一种前开式晶圆盒，主要包括一盒体以及一门体，于盒体开口处之边缘配置至少一对插孔，于门体之边缘配置至少一对与每一对插孔相应之闩孔。门体边缘上的每一个插孔各具有一内槽，并于每一个内槽中设有一斜面以使内槽形成外宽内窄之结构，门体之内部配置至少一门闩结构，每一个门闩结构都包括一椭圆凸轮、一对滑动装置，每一滑动装置以其第一端与椭圆凸轮圆周一点接触且其第二端具有一导引结构以及在第一端与第二端之间配置有一滑槽、至少一对滑轮配置于门体内部且每一个滑轮嵌入于每一滑动装置之滑槽中，以及每一个滑动装置连接成一体之定位弹片。