| 摘要 |
本发明系关于一种微影装置，该微影装置包含一光学圆柱，该光学圆柱能够在基板之一目标部分上产生一图案。该光学圆柱可具备：一自发射对比元件，该自发射对比元件经组态以发射一光束；及一投影系统，该投影系统经组态以将该光束投影至该目标部分上。该装置可具备一致动器，该致动器用以相对于该基板移动该光学圆柱或其一部分。提供一光学感测器元件，该光学感测器元件系相对于该等光学圆柱可移动且具有一移动范围，该移动范围使该光学感测器元件能够移动通过该等光学圆柱中之每一者之一投影区域以量测该等光学圆柱中之每一者之一光束。 |
