发明名称 高压元件及其制造方法
摘要 本发明提出一种高压元件及其制造方法,该高压元件包含:基板,其具有P(或N)型井区以及绝缘结构以定义元件区;漂移区,位于元件区中,其具有第一区域与第二区域,其中,第一区域为N(或P)型区域,且第二区域为P(或N)型区域或杂质浓度与第一区域不同之N(或P)型区域,并且,第一区域与第二区域,由上视图视之,具有交错分布之形式;位于元件区中之N(或P)型源极、与第N(或P)型汲极;以及位于基板表面上,元件区中,介于源极与汲极间之闸极。
申请公布号 TWI408811 申请公布日期 2013.09.11
申请号 TW100106486 申请日期 2011.02.25
申请人 立錡科技股份有限公司 新竹县竹北市台元街20号5楼 发明人 黄宗义;林盈秀
分类号 H01L29/78;H01L21/336;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人 任秀妍 新竹市光复路2段481号9楼
主权项
地址 新竹县竹北市台元街20号5楼