蒸发器以及具有该蒸发器的真空沉积装置

摘要

本发明提出一种用来制造有机发光装置的蒸发器，以及具有此蒸发器的真空沉积装置。此蒸发器包括存放有机物质的容器罐、覆盖容器罐开口的罐盖，以及彼此隔开以蒸镀有机物质的蒸镀排气口。此蒸发器更包括配置于罐盖上并防止热辐射的挡板，以及防止罐盖与挡板之间的蒸镀排气口堵塞的加热件。蒸镀有机物质的多个蒸镀排气口，其长度为彼此不同，以改善被沉积之薄膜的均匀度，并防止有机物质的流失。防止对基材热辐射的挡板，其保护基材或基材上的薄膜使免于受到热损伤。