发明名称 石英玻璃坩埚之制造方法与装置、以及石英玻璃坩埚
摘要 本发明之经由配设在模具之旋转轴周围处的电极之电弧放电而将在模具内所成形了的石英粉成形体作加热熔融并制造石英玻璃坩埚之方法,系由以下工程所成:将电极配置为环状之工程;和在电弧加热中之至少一定的时间中,将前述电极前端与前述石英粉成形体表面间之水平方向距离W的相对于前述石英粉成形体开口半径R之比W/R的值,设定为0.002~0.98的范围内之工程。
申请公布号 TWI408111 申请公布日期 2013.09.11
申请号 TW098131929 申请日期 2009.09.22
申请人 日本超精石英股份有限公司 日本 发明人 岸弘史;福井正德;森川正树
分类号 C03B20/00;F27B14/10 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项
地址 日本