| 摘要 |
课题;提供即使液晶面板基板，半导体晶圆，磁碟基板，光碟基板等大型化，也可适当地对应于照射紫外光，进行洗净，蚀刻等的基板处理，而且可实现灯的长寿命化的准分子灯的构造。;解决手段;一种准分子灯，属于在介质所成的放电容器封入准分子生成气体，具备一对电极，在该一对电极间介装两个介质构件所成，而在该一对电极施加有高电压进行放电的准分子灯，其特征为：在一方的介质构件具有朝另一方的介质构件延伸的介质所成的支撑构件，在该支撑构件与该另一方的介质构件所接触的该支撑构件或该另一方的介质构件的部位，具备缓冲材料。 |
