与外涂光阻一起使用的涂覆组合物

摘要

本发明系有关于含矽之有机涂覆组合物，特别针对抗反射涂覆组合物，其含有重复单元，其中发色基团(如苯基)系与矽原子隔开。另一样态中，系提供调制成液态(有机溶剂)组合物之含矽下层组合物，其中有机溶剂组合物之至少一种有机溶剂包含羟基。