光罩安装／覆盖装置、光阻检查方法以及使用前述方法之光阻检查装置

摘要

提供一种检查装置，其中配置为标线片与薄膜分离。标线片匣盒由两片平面构件组成。中空的部分具有提供标线片插入平面构件的形状。另一中空部分，具有比标线片的光阻稍大的形状，形成于平面构件上。在中空部分的周边放置薄膜框架，薄膜框架上以延伸方式形成保护膜。在凹部中，覆盖的标线片具有光阻在标线片上，指向中空部分。标线片置入封闭空间。