离子束浓度的检测方法及离子束检测系统

摘要

本发明涉及一种离子束检测系统，包括探测器、二维驱动模块、控制器以及处理器，控制器用于向二维驱动模块发送控制指令；二维驱动模块用于根据控制指令驱动探测器在二维平面内移动；探测器用于测量离子束形成的电流；处理器用于根据探测器检测到的离子束的电流浓度信息和采样点位置信息，计算得到离子束面积，再根据电流浓度信息将电流大小除以离子束面积得到离子浓度。本发明还涉及一种离子束浓度的检测方法。本发明可以有效、准确地检测出离子束形状及离子束品质，使得工艺人员能够及时有效地控制在线工艺，及时发现离子束缺陷，采取措施预防并避免异常报废。且减少了设备人员维护和保养机台的频次，降低了成本。

主权项

一种离子束检测系统，包括探测器，其特征在于，还包括二维驱动模块、控制器以及处理器，所述控制器与所述二维驱动模块电连接，用于向所述二维驱动模块发送控制指令；所述二维驱动模块连接所述探测器，用于根据控制指令驱动所述探测器在二维平面内移动；所述探测器用于测量离子束形成的电流；所述处理器连接所述探测器，用于根据所述探测器检测到的离子束的电流浓度信息和采样点位置信息，计算得到离子束横截面的面积，再根据所述电流浓度信息将电流大小除以离子束面积得到离子浓度。