| 发明名称 | 物理量传感器和电子设备 | ||
| 摘要 | 物理量传感器和电子设备。本发明的课题是提供一种具有高可靠性的物理量传感器。作为解决手段，物理量传感器（100）包含：基板（10）；可动体（20），其具有可动电极部（21）；轴部（30、32），其与可动体（20）连接，成为可动体（20）的旋转轴（Q）；固定部（40），其被固定在基板（10）上，经由轴部（30、32）支撑可动体（20）；以及固定电极部（5），其与可动电极部（21）相对地设在基板（10）上，在固定部（40）上，在旋转轴的轴线（Q）上设有开口部（46）。 | ||
| 申请公布号 | CN103292830A | 申请公布日期 | 2013.09.11 |
| 申请号 | CN201310059401.X | 申请日期 | 2013.02.26 |
| 申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 田中悟 |
| 分类号 | G01D5/241(2006.01)I;G01P15/125(2006.01)I;G01P15/08(2006.01)I;B81B7/02(2006.01)I | 主分类号 | G01D5/241(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;马建军 |
| 主权项 | 一种物理量传感器，其中，所述物理量传感器包含：基板；可动体，其具有可动电极部；轴部，其与所述可动体连接，成为所述可动体的旋转轴；固定部，其被固定在所述基板上，经由所述轴部支撑所述可动体；以及固定电极部，其与所述可动电极部相对地设在所述基板上，在所述固定部上，在所述旋转轴的轴线上设有开口部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||