真空器件内光路反射调节器件

摘要

真空器件内部光路反射调节器件应用于光电技术领域，作用是在真空器件特别是激光真空器件里面，在不影响真空情况下对多束光路耦合的反射角度进行高精度的调节。本发明主要通过在真空器件外部进行机械调节使真空器件内部的光路发射角度发生变化。技术要点是真空器件外部机械调节与内部发射角度的联动和保持真空器件的密封性。

主权项

本发明主要技术特征为外联杆可调节和保证真空密封性。