发明名称 基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置
摘要 本发明公开了一种基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,包括DFB激光器、调制电流源、温度控制器、控制箱、功率分配器、任意波形发生器、锁相放大器、基座、套管、尾纤连接器、自聚焦透镜、石英音叉和电脑,其中:调制电流源和温度控制器分别控制DFB激光器的注入电流和工作温度,使DFB激光器的输出波长在1370nm附近有一个较强的水汽吸收峰;任意波形发生器提供调制信号,周期性的调制DFB激光器的输出光频率;DFB激光器输出光通过自聚焦透镜后,聚焦光束的焦点位于石英音叉两臂之间的间隙中,通过石英音叉检测光与吸收气体相互作用下产生的光声光谱信号,经锁相放大器放大后输出给电脑,由电脑实时显示测量到的空气湿度。
申请公布号 CN103293107A 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201310268465.0 申请日期 2013.06.28
申请人 中国科学院半导体研究所 发明人 龚萍;谢亮;王瑞;袁海庆
分类号 G01N21/17(2006.01)I 主分类号 G01N21/17(2006.01)I
代理机构 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人 任岩
主权项 一种基于石英音叉增强气体光声光谱的空气湿度动态检测装置,其特征在于,该空气湿度动态检测装置包括DFB激光器(1)、调制电流源(2)、温度控制器(3)、控制箱(4)、功率分配器(5)、任意波形发生器(6)、锁相放大器(7)、基座(8)、套管(9)、尾纤连接器(10)、自聚焦透镜(11)、石英音叉(12)和电脑(13),其中:调制电流源(2)和温度控制器(3)分别控制DFB激光器(1)的注入电流和工作温度,使DFB激光器(1)的输出波长锁定在1370nm附近一个较强的水汽吸收峰上;任意波形发生器(6)提供调制信号,周期性的调制DFB激光器(1)的输出光频率;DFB激光器(1)输出光通过自聚焦透镜(11)后,聚焦光束的焦点位于石英音叉(12)两臂之间的间隙中,通过石英音叉(12)检测光与吸收气体相互作用下产生的光声光谱信号,经锁相放大器(7)放大后输出给电脑(13),由电脑(13)实时计算并显示测量到的空气湿度。
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