发明名称 |
探针卡的检测方法 |
摘要 |
一种探针卡的检测方法,包括:提供晶圆,在所述晶圆上分布多个导电区,至少两个导电区电连接且任意一个导电区只与一个导电区电连接;将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位;测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻;若所述接触电阻位于预期电阻范围内,则判定对应所述接触电阻的两个探针合格;若所述接触电阻超出预期电阻范围,则判定对应所述接触电阻的两个探针不合格。使用本发明的检测方法,可以精确测得每个探针是否出现问题,使得后续工艺可以针对出现问题进行进一步检查,进而作出适时更换或修理探针卡。另外,可以及早发现问题探针,并排除问题探针对后续晶圆测试的影响,进而提高晶圆测试的准确性。 |
申请公布号 |
CN103293503A |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201310199768.1 |
申请日期 |
2013.05.24 |
申请人 |
上海宏力半导体制造有限公司 |
发明人 |
唐莉 |
分类号 |
G01R35/00(2006.01)I |
主分类号 |
G01R35/00(2006.01)I |
代理机构 |
北京集佳知识产权代理有限公司 11227 |
代理人 |
张亚利;骆苏华 |
主权项 |
一种探针卡的检测方法,其特征在于,包括:提供晶圆,在所述晶圆上分布多个导电区,至少两个导电区电连接且任意一个导电区只与一个导电区电连接;将所述探针卡上的探针与晶圆上的导电区对位;测得与电连接的两个导电区对位的两个探针之间的接触电阻;若所述接触电阻位于预期电阻范围内,则判定对应所述接触电阻的两个探针合格;若所述接触电阻超出预期电阻范围,则判定对应所述接触电阻的两个探针不合格。 |
地址 |
201203 上海市浦东新区浦东张江高科技园区祖冲之路1399号 |