发明名称 |
静电放电保护结构及半导体设备 |
摘要 |
本发明提供一种静电放电保护结构,所述静电放电保护结构设置于静电敏感元件和外围电路之间,所述静电放电保护结构还与放电总线相连;其中所述静电放电保护结构包括第一互连线、钝化层和至少一条静电放电导线,所述第一互连线电连接所述静电敏感元件和外围电路,所述静电放电导线与所述放电总线相连,所述静电放电导线与所述第一互连线通过所述钝化层隔离,所述静电放电导线和所述第一互连线之间具有至少一静电放电路径。本发明所述静电放电保护结构具有结构简单、静电防护效果好、没有寄生电流、寄生电容小、噪声小等优点。 |
申请公布号 |
CN103296020A |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201210224016.1 |
申请日期 |
2012.06.29 |
申请人 |
上海天马微电子有限公司 |
发明人 |
郑礼朋 |
分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
主分类号 |
H01L27/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 |
代理人 |
郑玮 |
主权项 |
一种静电放电保护结构,设置于静电敏感元件和外围电路之间,所述静电放电保护结构还与放电总线相连;其中所述静电放电保护结构包括第一互连线、钝化层和至少一条静电放电导线,所述第一互连线电连接所述静电敏感元件和外围电路,所述静电放电导线与所述放电总线相连,所述静电放电导线与所述第一互连线通过所述钝化层隔离,所述静电放电导线和所述第一互连线之间具有至少一静电放电路径。 |
地址 |
201201 上海市浦东新区汇庆路889号 |