发明名称 一种用于宽波段硅基探测器的混合荧光薄膜的制备方法
摘要 本发明涉及一种用于宽波段硅基探测器的混合荧光薄膜的制备方法,用玛瑙研钵分别对Lumogen粉末和Coronene粉末进行研磨的前处理,处理后放入指定烧杯中;用甲苯溶液作为溶剂,硝化棉胶体溶液作为粘合剂,制成悬浮胶体溶液;取适量悬浮胶体溶液,滴入光敏面上或者石英玻璃基片上,同时,将样品真空吸附在旋涂仪上,旋涂成膜。制备方法不会破坏两种荧光材料的晶体结构特性,从而保证了两种荧光材料成膜前后发光特性的一致性,薄膜弥补了单种荧光材料在部分波段量子效率低的缺陷;相对于传统的热蒸发工艺,该制备工艺操作简单,材料利用率大幅提高,而且省时高效,降低实验成本,有利于硅基成像器件的产业化开发。
申请公布号 CN103289680A 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201310228843.2 申请日期 2013.06.09
申请人 上海理工大学 发明人 陶春先;何梁;张大伟;卢忠荣;洪瑞金;黄元申
分类号 C09K11/06(2006.01)I;H01L31/101(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/0232(2006.01)I 主分类号 C09K11/06(2006.01)I
代理机构 上海申汇专利代理有限公司 31001 代理人 吴宝根
主权项 一种用于宽波段硅基探测器的混合荧光薄膜的制备方法,其特征在于,具体包括如下步骤:1)用玛瑙研钵分别对Lumogen粉末和Coronene粉末进行研磨的前处理,处理后粉末放入指定烧杯中;2)用甲苯溶液作为溶剂,硝化棉胶体溶液作为粘合剂,一起放入步骤1)中装有荧光粉末的烧杯,在配置过程中,采用磁力搅拌器对混合溶液进行边加热边搅拌,制成悬浮胶体溶液;3)取适量悬浮胶体溶液,滴入光敏面上或者石英玻璃基片上,同时,将样品真空吸附在旋涂仪上,旋涂成膜。
地址 200093 上海市杨浦区军工路516号