一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统

摘要

本实用新型公开一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其中，包括：印刷装置、曝光装置、显影装置、蚀刻装置、清洗装置，曝光装置分别与印刷装置以及显影装置连接，蚀刻装置的后段与清洗装置连接，显影装置的后段与蚀刻装置连接，清洗装置的后段与去膜装置连接、去膜装置后段与水洗装置连接，水洗装置的后段与吹干装置连接。通过使用本实用新型一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，采用了如上的方案具有以下的效果：通过清洗装置与水洗装置有效的去除残留的化学溶液，同时利用罩体阻隔了设备生产时的废气，并且通过空气过滤器将废气过滤净化。

主权项

一种带清洗、吹干装置的蚀刻、去膜生产线系统，其特征在于，包括：印刷装置、曝光装置、显影装置、蚀刻装置、清洗装置，所述曝光装置分别与所述印刷装置以及显影装置连接，所述蚀刻装置的后段与所述清洗装置连接，所述显影装置的后段与所述蚀刻装置连接，所述清洗装置的后段与去膜装置连接、所述去膜装置后段与水洗装置连接，所述水洗装置的后段与吹干装置连接。