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发明名称
Method for forming MEMS devices having low contact resistance and devices obtained thereof
摘要
申请公布号
EP2277823(A3)
申请公布日期
2013.09.11
申请号
EP20100075263
申请日期
2010.06.18
申请人
IMEC;KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN, K.U. LEUVEN R&D
发明人
JAIN, AJAY;SEVERI, SIMONE;CLAES, GERT;HECK, JOHN
分类号
B81C1/00
主分类号
B81C1/00
代理机构
代理人
主权项
地址
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