发明名称 Method for forming MEMS devices having low contact resistance and devices obtained thereof
摘要
申请公布号 EP2277823(A3) 申请公布日期 2013.09.11
申请号 EP20100075263 申请日期 2010.06.18
申请人 IMEC;KATHOLIEKE UNIVERSITEIT LEUVEN, K.U. LEUVEN R&D 发明人 JAIN, AJAY;SEVERI, SIMONE;CLAES, GERT;HECK, JOHN
分类号 B81C1/00 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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