发明名称 生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱及制备方法
摘要 本发明公开了一种生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括生长在La0.3Sr1.7AlTaO6衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱。本发明制备的InGaN/GaN多量子阱光致发光峰位是441nm,半峰宽24.3nm,显示出很好的光学性能。本发明还公开了上述InGaN/GaN多量子阱的制备方法。与现有技术相比,本发明具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点,且制备的InGaN/GaN多量子阱结晶质量好,光学性能好。
申请公布号 CN103296159A 申请公布日期 2013.09.11
申请号 CN201310221246.7 申请日期 2013.05.31
申请人 华南理工大学 发明人 李国强;王文樑;杨为家;刘作莲;林云昊
分类号 H01L33/02(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I 主分类号 H01L33/02(2010.01)I
代理机构 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 代理人 陈文姬
主权项 生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,包括生长在La0.3Sr1.7AlTaO6衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱。
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