发明名称 |
生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱及制备方法 |
摘要 |
本发明公开了一种生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱,包括生长在La0.3Sr1.7AlTaO6衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱。本发明制备的InGaN/GaN多量子阱光致发光峰位是441nm,半峰宽24.3nm,显示出很好的光学性能。本发明还公开了上述InGaN/GaN多量子阱的制备方法。与现有技术相比,本发明具有生长工艺简单,制备成本低廉的优点,且制备的InGaN/GaN多量子阱结晶质量好,光学性能好。 |
申请公布号 |
CN103296159A |
申请公布日期 |
2013.09.11 |
申请号 |
CN201310221246.7 |
申请日期 |
2013.05.31 |
申请人 |
华南理工大学 |
发明人 |
李国强;王文樑;杨为家;刘作莲;林云昊 |
分类号 |
H01L33/02(2010.01)I;H01L33/06(2010.01)I |
主分类号 |
H01L33/02(2010.01)I |
代理机构 |
广州市华学知识产权代理有限公司 44245 |
代理人 |
陈文姬 |
主权项 |
生长在铝酸锶钽镧衬底上的InGaN/GaN多量子阱,其特征在于,包括生长在La0.3Sr1.7AlTaO6衬底上的GaN缓冲层,生长在GaN缓冲层上的非掺杂GaN层,生长在非掺杂GaN层上的InGaN/GaN量子阱。 |
地址 |
510641 广东省广州市天河区五山路381号 |