一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法

摘要

本发明系提供一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法，其系将该玻璃基板放入真空环境中并加热玻璃，而该靶源永久磁铁外围设有4组环绕的高电流电磁场，而形成电磁磁场以拉伸等离子体放电区，以溅射出具高动能氧化物粒子，又该氧化物粒子沉积披覆于玻璃基板上；同时玻璃基板完全浸入拉伸的等离子体区内，而使氧化物粒子在玻璃基板形成结晶，且藉由该电磁磁场，其带电粒子具有比一般磁场更高动能，同时又可藉由调整电流的方式调控电磁磁场大小，进而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列组合整齐之结晶结构。

主权项

1.一种应用于光伏透明导电玻璃的电磁磁控溅射法，该玻璃基板放入真空环境中并加热，该靶源永久磁铁外围设有4组环绕的高电流电磁场，而形成电磁磁场以拉伸等离子体放电区，以溅射出具高动能氧化物粒子，又该氧化物粒子沉积披覆于玻璃基板上；同时玻璃基板完全浸入拉伸的等离子体区内，而使氧化物粒子在玻璃基板形成结晶，且藉由该电磁磁场，其带电粒子具有比一般磁场更高动能，同时又可藉由调整电流的方式调控电磁磁场大小，进而可增加玻璃基板成膜速度及易于形成排列组合整齐之结晶结构。