探针装置和探针卡的平行调整机构

摘要

本发明提供一种探针装置和探针卡的平行调整机构，其能够抑制用于调整探针卡的平行度的驱动机构的部分的刚性的降低，并且能够高精度地保持探针卡和半导体晶片的平行度。本发明提供一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测，具有：载置台，其载置上述被检测基板；顶板，其将上述探针卡保持在上述载置台的上方；在四角对上述顶板进行支承的四个支承柱；升降机构，其配置于上述支承柱之中的至少三处，使上述顶板升降从而对上述探针卡和上述载置台上的上述被检测基板的平行度进行调整；和制动机构，其配置于上述升降机构的配置部位之中的至少一处，对上述顶板的升降施加制动，上述制动机构所施加的制动能够被解除。

主权项

一种探针装置，其使配置于探针卡的多个探针与被检测基板接触从而进行电检测，所述探针装置的特征在于，包括：载置台，其载置所述被检测基板；顶板，其将所述探针卡保持在所述载置台的上方；在四角对所述顶板进行支承的四个支承柱；升降机构，其配置于所述支承柱之中的至少三处，使所述顶板升降从而对所述探针卡和所述载置台上的所述被检测基板的平行度进行调整；和制动机构，其配置于所述升降机构的配置部位之中的至少一处，对所述顶板的升降施加制动，且所述制动机构所施加的制动能够被解除。