节能氮化炉

摘要

本实用新型公开了节能氮化炉，包括炉体，炉体底部中心位置通过旋转柱安装有阴极盘，炉体底部还设置有真空泵，炉体底部具有炉底隔热屏，炉体内设有保温屏，炉体外设有冷却罩，保温屏和冷却罩之间形成冷却空腔，位于炉体顶部的冷却空腔内设有冷却水喷管，冷却水喷管与储水箱连接，位于炉体底部两侧的冷却空腔内开有冷却水出口，两冷却水出口与循环水管连接，循环水管上端又与储水箱连接，炉体内壁顶部设有氨气输送结构。上述结构的氮化炉，隔热效果好，位于炉体顶部的冷却空腔内设有冷却水喷管，喷淋下来的水经冷却水出口，回到储水箱，再进行喷淋利用，炉内的温度容易控制，能耗低。

主权项

节能氮化炉，包括炉体，其特征在于：所述炉体底部中心位置通过旋转柱安装有阴极盘，所述炉体底部还设置有真空泵，所述炉体底部具有炉底隔热屏，所述炉体内设有保温屏，所述炉体外设有冷却罩，所述保温屏和冷却罩之间形成冷却空腔，位于炉体顶部的冷却空腔内设有冷却水喷管，所述冷却水喷管与储水箱连接，位于炉体底部两侧的冷却空腔内开有冷却水出口，两冷却水出口与循环水管连接，所述循环水管上端又与储水箱连接，所述炉体内壁顶部设有氨气输送结构。