一种在线反馈ITO薄膜特性装置

摘要

本发明属于ITO镀膜技术领域，尤其涉及一种在线反馈ITO薄膜特性装置。它包括ITO靶材、铜背板、冷却装置、工艺气体进气口Ⅰ、工艺气体进气口Ⅱ、反应气体进气口Ⅰ、反应气体进气口Ⅱ、监测光纤探头、基材、镀膜腔室、阴极护罩；ITO靶材绑定于铜背板表面，铜背板的另一面固定有冷却装置；工艺气体进气口Ⅰ、工艺气体进气口Ⅱ置于阴极靶下方，分为左右两路；反应气体进气口Ⅰ、反应气体进气口Ⅱ置于阴极靶上方，分为左右两路；本发明的在线实时监测ITO膜层特性，及时调整由于反应气体分布不均导致膜层异常，有效地提高生产效率与产能，减少了不良率。

主权项

一种在线反馈ITO薄膜特性装置，它包括ITO靶材（1）、铜背板（2）、冷却装置（3）、 工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）、反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）、监测光纤探头（8）、基材（9）、镀膜腔室（10）、阴极护罩（11）；其特征在于：ITO靶材（1）绑定于铜背板（2）表面，铜背板（2）的另一面固定有冷却装置（3）；工艺气体进气口Ⅰ（4）、工艺气体进气口Ⅱ（5）置于阴极靶下方，分为左右两路；反应气体进气口Ⅰ（6）、反应气体进气口Ⅱ（7）置于阴极靶上方，分为左右两路；阴极靶正上方为基材（9）；监测光纤探头（8）放置于反应溅射腔室侧壁反应气体进气口Ⅱ（7）下方。