一种硅棒几何尺寸测量仪

摘要

本发明涉及一种硅棒几何尺寸测量仪，包括固定框架、固定在固定框架上的标定块校准装置、竖装光耦、硅棒保护板升降装置、检测平台升降装置、工作台调整装置、工控机、开关盒、空气开关、显示装置、硅棒保护板组件、包含测量相机的检测平台组件以及放置硅棒的工作台组件；所述硅棒保护板组件和检测平台组件均能在各自升降装置的驱动下在重力方向作往复运动；硅棒能在工作台调整装置驱动下作横向、纵向以及周向旋转的运动。因此，本发明具有如下优点：1.利用机器视觉的方法对硅棒外形尺寸以及表面缺陷一次性测量，精度高，效率快，重复性好，对硅棒表面无任何潜在损伤；2.通过滑轮组的设计，实现用较小额定功率的电机驱动平台的移动，更加经济。

主权项

一种硅棒几何尺寸测量仪，其特征在于，包括固定框架（1）；固定在固定框架（1）上的标定块校准装置（2）、竖装光耦（3）、硅棒保护板升降装置、检测平台升降装置、工作台调整装置（4）、用于控制整个硅棒几何尺寸测量仪的工控机（5）、开关盒（6）、与工控机（5）电连接的空气开关（7）、与工控机（5）连接的显示装置（8）、硅棒保护板组件、检测平台组件以及用于放置被测硅棒的工作台组件；所述硅棒保护板组件由硅棒保护板升降装置驱动并能在竖直方向作往复运动；所述检测平台组件由检测平台升降装置驱动并能在竖直方向作往复运动；硅棒能由工作台组件驱动下作横向、纵向以及周向旋转的运动。