功率比例调节器和调节方法、电感耦合等离子体发生装置

摘要

本发明提供一种功率比例调节器和调节方法、及一种电感耦合等离子体发生装置，属于功率调节领域，解决了现有的功率比例调节技术成本高的问题。本发明的功率比例调节器包括输入端、多个并联的输出端、功率调节单元、反馈控制单元，其中反馈控制单元用于控制所述功率调节单元，以使所述多个输出端的输出功率满足预定的比例关系。本发明的电感耦合等离子体发生装置包括上述功率比例调节器。本发明的功率比例调节方法包括根据各输出端的实际输出功率和输出功率的预定比例关系控制功率调节单元。

主权项

一种功率比例调节器，其特征在于，包括：输入端，用于连接交流输入；多个并联的输出端；功率调节单元，连接在所述输入端和多个输出端之间，用于将所述输入端的输入功率分配到所述多个输出端；反馈控制单元，用于根据所述多个输出端的实际输出功率控制所述功率调节单元，以使所述多个输出端的输出功率满足预定的比例关系；其中，所述反馈控制单元包括：多个功率传感器，用于测量所述多个输出端的输出功率；或用于测量所述输入端的输入功率以及除任意一个输出端外其它所有输出端的各自的输出功率；控制器，用于根据所述预定的比例关系和所述多个功率传感器的测量结果向驱动机构发出控制命令；驱动机构，用于根据所述控制命令驱动所述功率调节单元，以使所述多个输出端的输出功率满足所述预定的比例关系。