石英坩埚、石英坩埚的制造方法及铸造装置

摘要

本发明公开了一种石英坩埚、石英坩埚的制造方法及铸造装置。本发明所涉及的用于制造硅锭的石英坩埚（20）的特征在于，具备底部（21）和从底部（21）的外周部立起的侧壁部（22），并且上方开口，底部（21）与侧壁部（22）相交的交叉部分（23）的内侧向石英坩埚（20）的内方伸展，形成厚度比底部（21）、侧壁部（22）厚的壁厚部（24）。

主权项

一种石英坩埚，用于制造硅锭，其特征在于，所述石英坩埚具备底部和从所述底部的外周部立起的侧壁部，并且上方开口，所述底部与所述侧壁部相交的交叉部分的内侧向所述石英坩埚的内方伸展，形成厚度比所述底部、所述侧壁部厚的壁厚部。