制造有机电致发光装置的设备和方法

摘要

本发明涉及制造有机电致发光装置的设备和方法，该方法包括：在第一基板处理单元中使用第一托架为掩模在连接到第一托架的基板上沉积有机材料；沉积有机材料时在第一托架处理单元中清洁和检验从沉积了有机材料的基板分离的第一托架；在第二基板处理单元中使用第二托架为掩模在连接到第二托架的基板上沉积金属材料；沉积金属材料时在第二托架处理单元中清洁和检验从沉积了金属材料的基板分离的第二托架；在密封单元中密封沉积了金属材料的基板，沉积有机材料或者金属材料包括：当各个第一和第二托架连接到基板时，初次移动第一和第二托架使得第一和第二托架与基板对齐；以及二次移动第一和第二托架以及基板使得基板和这些托架在预定位置对齐。

主权项

一种制造有机电致发光装置的设备，所述设备包括：第一基板处理单元，所述第一基板处理单元用于使用第一托架作为掩模在连接到所述第一托架的基板上沉积有机材料；第一托架处理单元，所述第一托架处理单元布置在与所述第一基板处理单元不同的行上，所述第一托架处理单元清洁并且检验从沉积有有机材料的所述基板分离的所述第一托架；第二基板处理单元，所述第二基板处理单元与所述第一基板处理单元布置在一行上，所述第二基板处理单元使用第二托架作为掩模在连接到所述第二托架的沉积有有机材料的所述基板上沉积金属材料；第二托架处理单元，所述第二托架处理单元布置在与所述第二基板处理单元不同的行上，所述第二托架处理单元清洁并且检验从沉积有金属材料的所述基板分离的所述第二托架；以及密封单元，所述密封单元与所述第二基板处理单元布置在一行上，所述密封单元密封沉积有所述金属材料的基板，其中，所述第一基板处理单元和所述第二基板处理单元均包括：移动控制单元，所述移动控制单元用于在第一托架和第二托架连接到所述基板时，初次地移动所述第一托架和第二托架使得所述第一托架和第二托架与所述基板对齐，并且用于二次移动各个第一托架和第二托架以及所述基板，使得所述基板和这些托架在预定位置对齐。