发明名称 | 传感器元件、传感器器件以及电子设备 | ||
摘要 | 本发明提供传感器元件、传感器器件以及电子设备,具有优异的检测灵敏度。传感器元件(2)具有:基部(21);从基部(21)延伸的检测用振动臂(23、24);以及在检测用振动臂(23、24)上设置的检测部(41~44),检测部(41~44)分别具有下部电极层、上部电极层以及压电体层,检测部(41、42)的下部电极之间,以及检测部(43、44)的下部电极之间彼此电连接。 | ||
申请公布号 | CN103292797A | 申请公布日期 | 2013.09.11 |
申请号 | CN201310061309.7 | 申请日期 | 2013.02.27 |
申请人 | 精工爱普生株式会社 | 发明人 | 市川史生 |
分类号 | G01C19/5607(2012.01)I | 主分类号 | G01C19/5607(2012.01)I |
代理机构 | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人 | 李辉;黄纶伟 |
主权项 | 一种传感器元件,其特征在于,该传感器元件具有:基部;从所述基部延伸的检测用振动臂;以及第1检测部和第2检测部,它们设置在所述检测用振动臂上,伴随于所述检测用振动臂的振动而输出电荷,所述第1检测部具有第1下部电极层、第1上部电极层、以及设置在所述第1下部电极层与所述第1上部电极层之间的第1压电体层,所述第1下部电极层设置在所述检测用振动臂侧,所述第2检测部具有第2下部电极层、第2上部电极层、以及设置在所述第2下部电极层与所述第2上部电极层之间的第2压电体层,所述第2下部电极层设置在所述检测用振动臂侧,所述第1下部电极层与所述第2下部电极层电连接,或者,所述第1上部电极层与所述第2上部电极层电连接。 | ||
地址 | 日本东京都 |